FESEM

FESEM

Yüksek voltaj ile hızlandırılan elektronların, numune üzerine odaklanması sonucunda, numune yüzeyi taratılarak, gönderilen elektronlar ile numune atomlarının etkileşmesi sağlanır. Ortaya çıkan bu etkileşimlerin uygun dedektörler yardımı ile toplanması ve sinyal güçlendiricilerden geçirilerek katot ışını tüpünün ekranına gönderilmesi sonucunda görüntü elde edilir. Elde edilen görüntülerden numuneye ait tanecik boyutu ve tanecik yerleşimi hakkında bilgiler elde edilebilmektedir.

Teknik Özellikler

Elektron Tabancası: Schottky Field-Emission
Büyütme Oranı: 12 – 1000000 x
Hızlandırma Gerilimi: 0,02 – 30 kV
Vakum Sistemi: Yüksek Vakum Modu (HV) (≤10-6 mbar)
Değişken Basınç Modu (VP) (0,01 – 1,33 mbar)

Dedektör Tipleri

SE2 dedektör (Everhart-Thornley tipi) ve In-Lens dedektör HV modda, numuneden yansıyan ikincil elektronları toplayarak (secondary elektron-SE) numune yüzeyine ait yüksek çözünürlükte topografik görüntüler elde etmek için kullanılır.
VPSE dedektör VP modda kullanılarak, kaplama yapılmamış yalıtkan, polimer ve cam gibi örneklerin görüntülerinin analizi sırasında kullanılır.
AsB dedektör HV modda, numuneden geri saçılan elektronları toplayarak (backscattered elektrons-BSE) atomik kontrasta ve kristal yönelimine bağlı iki boyutlu görüntüler elde etmek için kullanılır.
EDS dedektörü ile numunenin atom konsantrasyonları belirlenebilir. Haritalama özelliği sayesinde elde edilen görüntü üzerinde numunenin içerisinde bulunan elementlerin dağılımı hakkında bilgi sahibi olunabilir.
STEM dedektörü ile 30kV’ye kadar biyolojik doku/numunelerin mikroyapı görüntüsü elde edilir.